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硅酸四乙酯(英语:tetraethoxysilane,经常缩写为TEOS)是一种化合物,常态下为液体。硅酸四乙酯分子可以认为是原硅酸根(SiO44−)与4个乙基相连,也即正硅酸的乙基酯(虽然原硅酸根离子在溶液中并不存在),故得名正硅酸四乙酯(tetraethyl orthosilicate,也缩写为TEOS);其“硅酸根”部分呈正四面体结构。